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1. Identificação
Tipo de ReferênciaArtigo em Revista Científica (Journal Article)
Sitemtc-m21b.sid.inpe.br
Código do Detentorisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
Identificador8JMKD3MGP3W34P/3N8M2H5
Repositóriosid.inpe.br/mtc-m21b/2017/01.23.18.41   (acesso restrito)
Última Atualização2017:01.23.18.41.42 (UTC) administrator
Repositório de Metadadossid.inpe.br/mtc-m21b/2017/01.23.18.41.42
Última Atualização dos Metadados2018:06.04.02.27.18 (UTC) administrator
DOI10.1002/sia.6064
ISSN0142-2421
Chave de CitaçãoLealFragRasiMass:2017:ImHiN2
TítuloImpact of high N2 flow ratio on the chemical and morphological characteristics of sputtered N-DLC films
Ano2017
MêsFeb.
Data de Acesso09 maio 2024
Tipo de Trabalhojournal article
Tipo SecundárioPRE PI
Número de Arquivos1
Tamanho648 KiB
2. Contextualização
Autor1 Leal, Gabriela
2 Fraga, Mariana Amorim
3 Rasia, L. A.
4 Massi, M.
Grupo1
2 LABAS-COCTE-INPE-MCTIC-GOV-BR
Afiliação1 Universidade Federal de São Paulo (UNIFESP)
2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
3 Universidade Regional do Nordeste do Estado do Rio Grande do Sul
4 Universidade Federal de São Paulo (UNIFESP)
Endereço de e-Mail do Autor1 gabriela.leal@unifesp.br
2 mariana.fraga@inpe.br
RevistaSurface and Interface Analysis
Volume49
Número2
Páginas99-106
Nota SecundáriaB1_INTERDISCIPLINAR B1_ENGENHARIAS_II B3_QUÍMICA B3_CIÊNCIAS_BIOLÓGICAS_I B3_ASTRONOMIA_/_FÍSICA
Histórico (UTC)2017-01-23 18:42:33 :: simone -> administrator :: 2016 -> 2017
2018-06-04 02:27:18 :: administrator -> simone :: 2017
3. Conteúdo e estrutura
É a matriz ou uma cópia?é a matriz
Estágio do Conteúdoconcluido
Transferível1
Tipo do ConteúdoExternal Contribution
Tipo de Versãopublisher
Palavras-Chavechemical bonding
diamond-like carbon
magnetron sputtering
morphology
nitrogen incorporation
ResumoBecause of their outstanding characteristics, diamond-like carbon (DLC) thin films have been recognized as interesting materials for a variety of applications. For this reason, the effects of the incorporation of different elements on their fundamental properties have been the focus of many studies. In this work, nitrogen-incorporated DLC films were deposited on Si (100) substrates by DC magnetron sputtering of a graphite target under a variable N2 gas flow rate in CH4 + N2 + Ar gas mixtures. The influence of high N2 flow ratios (20, 40 and 60%) on the chemical, structural and morphological properties of N-DLC films was investigated. Different techniques including field emission gun-equipped scanning electron microscope (FEG-SEM), energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS), atomic force microscopy (AFM), profilometry, Rutherford backscattering spectrometry (RBS) and Raman spectroscopy (325-nm and 514-nm excitation) were used to examine the properties of the N-DLC films. Thus, the incorporation of nitrogen was correlated with the morphology, roughness, thickness, structure and chemical bonding of the films. Overall, the results obtained indicate that the fundamental properties of N-DLC films are not only related to the nitrogen content in the film but also to the type of chemical bonds formed.
ÁreaFISMAT
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4. Condições de acesso e uso
Idiomaen
Arquivo Alvoleal_impact.pdf
Grupo de Usuáriossimone
Grupo de Leitoresadministrator
simone
Visibilidadeshown
Permissão de Leituradeny from all and allow from 150.163
Permissão de Atualizaçãonão transferida
5. Fontes relacionadas
Unidades Imediatamente Superiores8JMKD3MGPCW/3ESR3H2
Lista de Itens Citandosid.inpe.br/bibdigital/2013/09.24.19.30 3
DivulgaçãoWEBSCI; PORTALCAPES; SCOPUS.
Acervo Hospedeirosid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.20
6. Notas
Campos Vaziosalternatejournal archivingpolicy archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel e-mailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarykey session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url
7. Controle da descrição
e-Mail (login)simone
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